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진공시스템

PRODUCT - CIRCULAR TYPE SOURCE 


 


Circular type
 

FPG-C100S
 

FPG-C170D
 

FPG-C250T
 

FPG-C320Q
 

 

01_information_03_textstart.png Circular Type Ion Beam Source

 

 

Type
Model

Length
Source

 

Length
Beam

 
Loop
Applications

Circular
 
FPG-C100S
100 mm
42 mm
Single
IBAD, Cleaning, Etching

Circular
 
FPG-C170D
170 mm
42 mm, 110 mm
Double
IBAD, Cleaning, Etching

Circular
 
FPG-C250T
250 mm
42 mm, 114 mm, 186 mm
Triple
IBAD, Cleaning, Etching

Circular
 
FPG-C320Q
320 mm
42 mm, 114 mm, 183 mm, 258 mm
Quadruple
IBAD, Cleaning, Etching

 

     
 

불순물 발생이 없는 구조
 
 
     
 

기존의 이온소스는 확산 원리에 의하여 구동되는 형태로 식각에 의한 불순물이 발생하여 아킹 현상이 나타나는 단점이 있었습니다. 그러나 당사의 이온 소스 시스템은 전자기장에 의한 구동으로 불순물이 발생할 염려가 없습니다.

 
     

 

ion_01_01.jpg

 

     
 

방향성을 가질 수 있는 이온 빔
 
 
     
 

당사의 FPG 이온빔 소스는 Whenelt Mask에 의해 이온빔 형상을 제어합니다. 따라서 이온 소스를 이용하고자 하는 장비의 방향에 맞춰 이용이 가능합니다.

 
     

 

ion_01_02.jpg

 

 

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