진공시스템
PRODUCT - CIRCULAR TYPE SOURCE
Circular type |
FPG-C100S |
FPG-C170D |
FPG-C250T |
FPG-C320Q |
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Circular Type Ion Beam Source |
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Type
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Model
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Length Source |
Length Beam |
Loop
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Applications
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Circular |
FPG-C100S
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100 mm
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42 mm
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Single
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IBAD, Cleaning, Etching
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Circular |
FPG-C170D
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170 mm
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42 mm, 110 mm
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Double
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IBAD, Cleaning, Etching
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Circular |
FPG-C250T
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250 mm
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42 mm, 114 mm, 186 mm
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Triple
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IBAD, Cleaning, Etching
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Circular |
FPG-C320Q
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320 mm
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42 mm, 114 mm, 183 mm, 258 mm
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Quadruple
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IBAD, Cleaning, Etching
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불순물 발생이 없는 구조 |
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기존의 이온소스는 확산 원리에 의하여 구동되는 형태로 식각에 의한 불순물이 발생하여 아킹 현상이 나타나는 단점이 있었습니다. 그러나 당사의 이온 소스 시스템은 전자기장에 의한 구동으로 불순물이 발생할 염려가 없습니다. |
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방향성을 가질 수 있는 이온 빔 |
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당사의 FPG 이온빔 소스는 Whenelt Mask에 의해 이온빔 형상을 제어합니다. 따라서 이온 소스를 이용하고자 하는 장비의 방향에 맞춰 이용이 가능합니다. |
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