Home 진공시스템

진공시스템 FPG-C100S


 

진공시스템

PRODUCT - CIRCULAR TYPE SOURCE 


 


Circular type
 

FPG-C100S
 

FPG-C170D
 

FPG-C250T
 

FPG-C320Q
 

 

01_information_03_textstart2.png FPG-C100S

 

         
 

원형 이온빔은 Evaporator 또는 Sputter 장비에 장착하여

기판의 표면 개질 또는 전처리,

이온빔 보조 증착 등의 기초 연구에 적용할 수 있음.

ionsys_05_01.png

  ionsys_05_02.png  
         

 

01_information_03_textstart2.png Characteristics
· 단일 선형 폐 루프 가속 이온빔 형태임.
· 공정 용기에 탈부착 용이.
· 이온화 가스 제어 용이 .

 

01_information_03_textstart2.png

Specifications


구분
 

사양

비고


Effective Beam Length
 

42 mm

 


Ion Energy
 

500 ~ 3,500 eV

 


Operating Pressure
 

< 3 × 10-3 Torr

 


Discharge Voltage
 

500 ~ 3,500 VDC

 


Max. Discharge Power
 

1.0 kW

 


Input Power
 

1-phase 220V

 

 

 

01_information_03_textstart2.png

Outer Design

ionsys_05_03.png

 

 

 

 

CONTACT US

고객센터 : 041-555-0641

팩스 : 041-555-0642

이메일 : kdh6157@hanmail.net

업무시간 : 09:00 ~ 18:00

주소 : 충남 천안시 서북구 백석공단1로10 천안 미래에이스하이테크시티 B-909

대표 : 김두한

사업자 등록 번호 : 223-81-17874

Copyright. ⓒ 명문ENG. All rights reserved.