진공시스템
PRODUCT - CIRCULAR TYPE SOURCE
Circular type |
FPG-C100S |
FPG-C170D |
FPG-C250T |
FPG-C320Q |
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FPG-C250T |
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삼중 원형 이온빔은 Evaporator 또는 Sputter 장비에 장착하여 기판의 표면 개질 또는 전처리, 이온빔 보조 증착, 이온빔 스퍼터링 등의 기초 연구에 적용할 수 있을 뿐만 아니라 광학용 박막 코팅 공정에도 적용할 수 있는 제품임. |
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Characteristics |
| · 단일 선형 폐 루프 가속 이온빔 형태임. |
| · 공정 용기에 탈부착 용이. |
| · 이온화 가스 제어 용이 . |
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Specifications |
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사양 |
비고 |
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42 mm, 114 mm, 186 mm |
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500 ~ 3,500 eV |
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< 3 × 10-3 Torr |
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500 ~ 3,500 VDC |
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1.0 kW |
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1-phase 220V |
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Outer Design |
