진공시스템
PRODUCT - LINEAR TYPE SOURCE
Linear type |
FPG-L100S |
FPG-L150S |
FPG-L180D |
FPG-L220D |
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Linear Type Ion Beam Source |
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Type
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Model
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Length Source |
Length Beam |
Loop
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Applications
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Linear |
FPG-L100S
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1,000 mm
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880mm
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Single
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IBAD, Cleaning
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Linear |
FPG-L150S
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1,500 mm
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1,380 mm
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Single
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IBAD, Cleaning
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Linear |
FPG-L180D
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1,800 mm
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1,680 mm
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Double
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Etching
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Linear |
FPG-L220D
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2,200 mm
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2,080 mm
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Double
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Etching
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불순물 발생이 없는 구조 |
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기존의 이온소스는 확산 원리에 의하여 구동되는 형태로 식각에 의한 불순물이 발생하여 아킹 현상이 나타나는 단점이 있었습니다. 그러나 당사의 이온 소스 시스템은 전자기장에 의한 구동으로 불순물이 발생할 염려가 없습니다. |
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방향성을 가질 수 있는 이온 빔 |
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당사의 FPG 이온빔 소스는 Whenelt Mask에 의해 이온빔 형상을 제어합니다. 따라서 이온 소스를 이용하고자 하는 장비의 방향에 맞춰 이용이 가능합니다. |
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