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진공시스템

PRODUCT - LINEAR TYPE SOURCE 


 


Linear type
 

FPG-L100S
 

FPG-L150S
 

FPG-L180D
 

FPG-L220D
 

 

01_information_03_textstart2.png FPG-L220D

 

         
 

두 개의 선형 이온빔은 기판의 표면 식각뿐만 아니라,

In-line 또는 Roll to roll Sputter에 장착하여

기판의 표면 개질 또는 전처리, 박막의 이온빔 처리,

이온빔 보조증착 등의 산업용 양산 공정에 적용할 수 있으며,

광학용 박막 코팅 공정에도 적용할수 있음.

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01_information_03_textstart2.png Characteristics
· 단일 선형 폐 루프 가속 이온빔 형태임.
· 공정 용기에 탈부착 용이.
· 이온화 가스 제어 용이 .

 

 

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Specifications


구분
 

사양

비고


Effective Beam Length
 

2,080 mm

 


Ion Energy
 

500 ~ 3,000 eV

 


Operating Pressure
 

< 3 × 10-3 Torr

 


Discharge Voltage
 

500 ~ 3,000 VDC

 


Max. Discharge Power
 

6 kW

 


Input Power
 

3-phase 220V/380V

 

 

 

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Outer Design

 

 

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