진공시스템
PRODUCT - LINEAR TYPE SOURCE
Linear type |
FPG-L100S |
FPG-L150S |
FPG-L180D |
FPG-L220D |
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FPG-L220D |
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두 개의 선형 이온빔은 기판의 표면 식각뿐만 아니라, In-line 또는 Roll to roll Sputter에 장착하여 기판의 표면 개질 또는 전처리, 박막의 이온빔 처리, 이온빔 보조증착 등의 산업용 양산 공정에 적용할 수 있으며, 광학용 박막 코팅 공정에도 적용할수 있음. |
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Characteristics |
| · 단일 선형 폐 루프 가속 이온빔 형태임. |
| · 공정 용기에 탈부착 용이. |
| · 이온화 가스 제어 용이 . |
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Specifications |
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사양 |
비고 |
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2,080 mm |
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500 ~ 3,000 eV |
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< 3 × 10-3 Torr |
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500 ~ 3,000 VDC |
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6 kW |
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3-phase 220V/380V |
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Outer Design |
